Più che di diffusione delle vacanze, si tratta di creazione delle stesse.
Infatti la diffusione delle vacanze da un posto all'altro del reticolo avviene quando esse si sono già formate e per formarsi deve succedere che qualche atomo "scappi via" dal reticolo. Per potersi allontanare dal reticolo, un atomo deve essere sollecitato da un aumento di temperatura, che gli fornisce l'energia necessaria a muoversi, o da radiazioni che lo colpiscono, provocandone così l'allontanamento.

Un a volta createsi, le vacanze possono diffondersi, cioè "migrare" all'interno del materiale.

Di seguito i riferimenti:

La collisione degli elettroni con quelli di valenza degli atomi del campione, provoca la migrazione degli stessi verso livelli energetici più elevati, determinando la produzione di “vacanze”, a loro volta “riempite” da altri elettroni, generando così l’emissione di energia sottoforma di raggi X.
http://www.hia21.eu/dwnld/20120518_studio caratterizzazione ...

Le vacanze sono difetti del reticolo cristallino che hanno origine principalmente durante la solidificazione, la deformazione plastica o il trattamento termico dell’acciaio.
http://www.fa-fe.com/files/pdf/libri_articoli/it/1_Metallurg...

Le vacanze aumentano in relazione all’aumento di temperatura, in quanto con questa aumenta la mobilità degli atomi e quindi al possibilità di spostamenti degli stessi nel reticolo cristallino.
https://amslaurea.unibo.it/6531/1/luciani_cristiano_tesi.pdf
https://www.gianottielio.it/syntax_files/tbl_documenti_alleg...

Il numero di vacanze e di atomi interstiziali cresce rapidamente con la temperatura
https://web.archive.org/web/20081022195834/http://dcssi.istm...

Dal punto di vista delle verifiche indirette, particolarmente interessante è quella messa a punto da R. O. Simmons e R. W. Balluffi nel 1960 per dimostrare l'esistenza delle vacanze (già previste dalla termodinamica): basandosi su misure di dilatazione termica dei cristalli e di diffrazione dei raggi X, essi confrontarono i valori di espansione del volume ottenuti sperimentalmente a ogni temperatura con quelli previsti dal semplice incremento del passo reticolare misurato ai raggi X, riscontrando una differenza giustificabile solamente con l'ipotesi dell'aumento del numero di vacanze parallelamente al riscaldamento
https://it.wikipedia.org/wiki/Difetto_cristallino